MOQ: | 1 Stück |
Preis: | US $ 15/PC |
Standardverpackung: | Zylinder/Tank |
Lieferfrist: | 15 Tage |
Zahlungs-Methode: | L/C, T/T |
Lieferkapazität: | 200 Tonnen/Jahr |
Wolframhexafluorid (WF6) ist eine chemische Verbindung, die aus Wolfram- und Fluoratomen besteht.Es ist ein farbloses Gas bei Raumtemperatur und wird hauptsächlich in der Halbleiterindustrie für das chemische Dampfdeponierungsprozess (CVD) zur Ablagerung dünner Wolframfolien verwendet.
Hier sind einige wichtige Punkte über Wolframhexafluoridgas:
Grundlegende Informationen.
Modell Nr. | WF6 | Transportpaket | Zylinder |
Spezifikation | 10 L/15 kg | Handelsmarke | CMC |
Ursprung | Suzhou, China | HS-Code | 2812190091 |
Produktionskapazität | 200 t/Jahr |
Prüfobjekte | Einheiten | Qualitätsanforderungen | Testergebnisse |
CF4 | ppm | < 05 | < 001 |
O2 | ppm | < 05 | < 001 |
N2 | ppm | < 1 | 0.03 |
Kohlenstoff | ppm | < 05 | < 002 |
CO2 | ppm | < 05 | < 001 |
SiF4 | ppm | < 05 | < 01 |
SF6 | ppm | < 05 | < 01 |
HF | ppm | < 5 | 0.19 |
Das ist alles. | ppb | ≤ 10 | < 0020 |
Als | ppb | ≤ 10 | < 0001 |
B | ppb | ≤ 10 | < 0005 |
Ca | ppb | ≤ 5 | < 0200 |
Cd | ppb | ≤ 2 | < 0001 |
Die | ppb | ≤ 10 | < 0020 |
Fe | ppb | ≤ 10 | < 0007 |
K | ppb | ≤ 5 | < 0100 |
In | ppb | ≤ 10 | < 0001 |
Nein. | ppb | ≤ 5 | < 0040 |
Die | ppb | ≤ 01 | < 0001 |
Ti | ppb | ≤ 10 | < 0002 |
Li | ppb | ≤ 10 | < 0002 |
U | ppb | ≤ 005 | < 0001 |
Zn | ppb | ≤ 10 | < 0005 |
- Ja. | ppb | ≤ 10 | < 0100 |
Pb | ppb | ≤ 10 | < 0001 |
P | ppb | ≤ 2 | < 0300 |
Mg | ppb | ≤ 10 | < 0020 |
Ni | ppb | ≤ 20 | < 0030 |
- Was? | ppb | ≤ 5 | < 0005 |
- Das ist Mo. | ppb | ≤ 10 | < 0001 |
Gesamtverunreinigungen von anderen Metallen | ppb | ≤ 500 | < 00010 |
MOQ: | 1 Stück |
Preis: | US $ 15/PC |
Standardverpackung: | Zylinder/Tank |
Lieferfrist: | 15 Tage |
Zahlungs-Methode: | L/C, T/T |
Lieferkapazität: | 200 Tonnen/Jahr |
Wolframhexafluorid (WF6) ist eine chemische Verbindung, die aus Wolfram- und Fluoratomen besteht.Es ist ein farbloses Gas bei Raumtemperatur und wird hauptsächlich in der Halbleiterindustrie für das chemische Dampfdeponierungsprozess (CVD) zur Ablagerung dünner Wolframfolien verwendet.
Hier sind einige wichtige Punkte über Wolframhexafluoridgas:
Grundlegende Informationen.
Modell Nr. | WF6 | Transportpaket | Zylinder |
Spezifikation | 10 L/15 kg | Handelsmarke | CMC |
Ursprung | Suzhou, China | HS-Code | 2812190091 |
Produktionskapazität | 200 t/Jahr |
Prüfobjekte | Einheiten | Qualitätsanforderungen | Testergebnisse |
CF4 | ppm | < 05 | < 001 |
O2 | ppm | < 05 | < 001 |
N2 | ppm | < 1 | 0.03 |
Kohlenstoff | ppm | < 05 | < 002 |
CO2 | ppm | < 05 | < 001 |
SiF4 | ppm | < 05 | < 01 |
SF6 | ppm | < 05 | < 01 |
HF | ppm | < 5 | 0.19 |
Das ist alles. | ppb | ≤ 10 | < 0020 |
Als | ppb | ≤ 10 | < 0001 |
B | ppb | ≤ 10 | < 0005 |
Ca | ppb | ≤ 5 | < 0200 |
Cd | ppb | ≤ 2 | < 0001 |
Die | ppb | ≤ 10 | < 0020 |
Fe | ppb | ≤ 10 | < 0007 |
K | ppb | ≤ 5 | < 0100 |
In | ppb | ≤ 10 | < 0001 |
Nein. | ppb | ≤ 5 | < 0040 |
Die | ppb | ≤ 01 | < 0001 |
Ti | ppb | ≤ 10 | < 0002 |
Li | ppb | ≤ 10 | < 0002 |
U | ppb | ≤ 005 | < 0001 |
Zn | ppb | ≤ 10 | < 0005 |
- Ja. | ppb | ≤ 10 | < 0100 |
Pb | ppb | ≤ 10 | < 0001 |
P | ppb | ≤ 2 | < 0300 |
Mg | ppb | ≤ 10 | < 0020 |
Ni | ppb | ≤ 20 | < 0030 |
- Was? | ppb | ≤ 5 | < 0005 |
- Das ist Mo. | ppb | ≤ 10 | < 0001 |
Gesamtverunreinigungen von anderen Metallen | ppb | ≤ 500 | < 00010 |