|
| MOQ: | 1 kg |
| Preis: | US $60/kg |
| Standardverpackung: | Zylinder/Tank |
| Lieferfrist: | 15 TAGE |
| Zahlungs-Methode: | L/C, T/T |
| Lieferkapazität: | 20000 Tonnen/Jahr |
Stickstofftrifluorid (NF3) ist eine chemische Verbindung, die aus einem Stickstoffatom und drei Fluoratomen besteht.Hier sind einige wichtige Punkte über Stickstofftrifluorid:
Produktion: NF3 kann durch die Reaktion von Ammoniak (NH3) mit Fluorgas (F2) erzeugt werden.bei erhöhten Temperaturen.
Eigenschaften: NF3 ist ein stabiles Gas bei Raumtemperatur und Raumdruck. Es hat einen Siedepunkt von -129 °C (-204 °F) und einen Schmelzpunkt von -206 °C (-339 °F).Aber es kann die Verbrennung unterstützenNF3 ist in Wasser und einigen organischen Lösungsmitteln löslich.
Verwendungszwecke: Stickstofftrifluorid wird hauptsächlich als Reinigungsmittel zur Entfernung von Dünnschichtdepositionen in der Halbleiterindustrie verwendet.Es wird häufig zur Reinigung von Geräten wie chemischen Dampfdeponierungskammern (CVD) verwendetNF3 wird aufgrund seiner hohen Ätzselektivität und geringen Reaktivität mit Silizium für diese Anwendung bevorzugt.
Umweltbelastung: NF3 ist ein starkes Treibhausgas mit einem hohen Erderwärmungspotenzial (GWP).Obwohl seine Konzentration in der Atmosphäre im Vergleich zu anderen Treibhausgasen relativ gering ist, trägt seine lange Lebensdauer in der Atmosphäre zu seiner erheblichen Auswirkung auf die globale Erwärmung bei.
Sicherheitsaspekte: Stickstofftrifluorid kann gefährlich sein, wenn es falsch behandelt oder in großen Mengen freigesetzt wird.NF3-Gas ist außerdem Reizstoff für die Atemwege und kann Augen- und Hautreizungen verursachen.Bei der Arbeit mit NF3 sind geeignete Sicherheitsvorkehrungen zu treffen, einschließlich einer ausreichenden Belüftung und persönlicher Schutzausrüstung.
- Ich weiß.
Grundlegende Informationen.
| Molekülgewicht | 147.05 | Dichte | 20,96 kg/m3 |
| Schmelzpunkt | -206,79°C | Siedepunkt | -129,0 °C |
| Aussehen | Farblos, geruchlos | Nein. | 2451 |
| DOT-Klasse | 2.2 und 5.1 | Ventile | Diss640 |
| Zylinderstandard | Die in Absatz 1 genannten Angaben sind zu beachten. | Zylinderdruck | 15Mpa/20Mpa |
| Transportpaket | 47L/440L | Spezifikation | 990,99%,99.996% |
| Handelsmarke | CMC | Ursprung | China |
| HS-Code | 28129011 | Produktionskapazität | 5000 t/Jahr |
Spezifikation:
| Spezifikationen | Firmenstandard |
| NF3 | ≥ 99,996% |
| CF4 | ≤20 ppm |
| N2 | ≤5 ppm |
| O2+AR | ≤3 ppm |
| Kohlenstoff | ≤1 ppm |
| CO2 | ≤0.5 ppm |
| N2O | ≤1 ppm |
| SF6 | ≤2 ppm |
| Feuchtigkeit | ≤1 ppm |
| Ausgedrückt als HF | ≤1 ppm |
Detailliertes Foto
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| MOQ: | 1 kg |
| Preis: | US $60/kg |
| Standardverpackung: | Zylinder/Tank |
| Lieferfrist: | 15 TAGE |
| Zahlungs-Methode: | L/C, T/T |
| Lieferkapazität: | 20000 Tonnen/Jahr |
Stickstofftrifluorid (NF3) ist eine chemische Verbindung, die aus einem Stickstoffatom und drei Fluoratomen besteht.Hier sind einige wichtige Punkte über Stickstofftrifluorid:
Produktion: NF3 kann durch die Reaktion von Ammoniak (NH3) mit Fluorgas (F2) erzeugt werden.bei erhöhten Temperaturen.
Eigenschaften: NF3 ist ein stabiles Gas bei Raumtemperatur und Raumdruck. Es hat einen Siedepunkt von -129 °C (-204 °F) und einen Schmelzpunkt von -206 °C (-339 °F).Aber es kann die Verbrennung unterstützenNF3 ist in Wasser und einigen organischen Lösungsmitteln löslich.
Verwendungszwecke: Stickstofftrifluorid wird hauptsächlich als Reinigungsmittel zur Entfernung von Dünnschichtdepositionen in der Halbleiterindustrie verwendet.Es wird häufig zur Reinigung von Geräten wie chemischen Dampfdeponierungskammern (CVD) verwendetNF3 wird aufgrund seiner hohen Ätzselektivität und geringen Reaktivität mit Silizium für diese Anwendung bevorzugt.
Umweltbelastung: NF3 ist ein starkes Treibhausgas mit einem hohen Erderwärmungspotenzial (GWP).Obwohl seine Konzentration in der Atmosphäre im Vergleich zu anderen Treibhausgasen relativ gering ist, trägt seine lange Lebensdauer in der Atmosphäre zu seiner erheblichen Auswirkung auf die globale Erwärmung bei.
Sicherheitsaspekte: Stickstofftrifluorid kann gefährlich sein, wenn es falsch behandelt oder in großen Mengen freigesetzt wird.NF3-Gas ist außerdem Reizstoff für die Atemwege und kann Augen- und Hautreizungen verursachen.Bei der Arbeit mit NF3 sind geeignete Sicherheitsvorkehrungen zu treffen, einschließlich einer ausreichenden Belüftung und persönlicher Schutzausrüstung.
- Ich weiß.
Grundlegende Informationen.
| Molekülgewicht | 147.05 | Dichte | 20,96 kg/m3 |
| Schmelzpunkt | -206,79°C | Siedepunkt | -129,0 °C |
| Aussehen | Farblos, geruchlos | Nein. | 2451 |
| DOT-Klasse | 2.2 und 5.1 | Ventile | Diss640 |
| Zylinderstandard | Die in Absatz 1 genannten Angaben sind zu beachten. | Zylinderdruck | 15Mpa/20Mpa |
| Transportpaket | 47L/440L | Spezifikation | 990,99%,99.996% |
| Handelsmarke | CMC | Ursprung | China |
| HS-Code | 28129011 | Produktionskapazität | 5000 t/Jahr |
Spezifikation:
| Spezifikationen | Firmenstandard |
| NF3 | ≥ 99,996% |
| CF4 | ≤20 ppm |
| N2 | ≤5 ppm |
| O2+AR | ≤3 ppm |
| Kohlenstoff | ≤1 ppm |
| CO2 | ≤0.5 ppm |
| N2O | ≤1 ppm |
| SF6 | ≤2 ppm |
| Feuchtigkeit | ≤1 ppm |
| Ausgedrückt als HF | ≤1 ppm |
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