|
| MOQ: | 1 Stück |
| Preis: | US $ 15/PC |
| Standardverpackung: | Zylinder/Tank |
| Lieferfrist: | 15 TAGE |
| Zahlungs-Methode: | L/C, T/T |
| Lieferkapazität: | 200 Tonnen/Jahr |
Wolframhexafluoridgas, auch bekannt als WF6, ist eine chemische Verbindung, die aus einem Wolframatom und sechs Fluoratomen besteht.Wolframhexafluorid wird hauptsächlich in der Halbleiterindustrie zur Ablagerung von dünnen Wolframfolien bei der Herstellung von integrierten Schaltungen und anderen elektronischen Geräten verwendet.
Hier sind einige wichtige Punkte über Wolframhexafluoridgas:
Ablagerung von Wolframfilmen: Wolframhexafluorid wird in chemischen Dampfablagerungsprozessen (CVD) häufig als Vorläufergas zur Ablagerung von dünnen Wolframfilmen eingesetzt.Diese Filme dienen als leitfähige Schichten bei der Herstellung von mikroelektronischen Geräten, wie z. B. Transistoren, Verbindungen und Torelektroden.
Hohe Reinheit und Stabilität: WF6-Gas ist in der Regel in hochreinen Sorten erhältlich, um die Qualität und Integrität der abgelagerten Wolframfolien zu gewährleisten.die eine kontrollierte und gleichmäßige Filmerzeugung unter spezifischen Prozessbedingungen ermöglicht.
CVD-Verfahren: Während des CVD-Verfahrens wird Wolframhexafluoridgas zusammen mit einem Reduktionsmittel wie Wasserstoffgas in eine Ablagerungskammer eingeführt.Die WF6-Moleküle zerfallen bei erhöhten Temperaturen, die auf kontrollierte Weise Wolframatome auf die Substratoberfläche legt.
Sicherheitsaspekte: Wolframhexafluorid ist ein hochgiftiges und ätzendes Gas, das sorgfältig behandelt und gelagert werden muss.Angemessene Sicherheitsmaßnahmen, einschließlich der Verwendung spezieller Ausrüstung und Schutzausrüstung, sind bei der Arbeit mit WF6 unerlässlich.
Umweltauswirkungen: Wie andere fluorierte Verbindungen kann Wolframhexafluorid zu Umweltproblemen beitragen.Um eine Freisetzung in die Umwelt zu verhindern, sind sorgfältige Verfahren zur Behandlung und Beseitigung erforderlich..
Es ist wichtig zu beachten, dass Wolframhexafluorid-Gas hauptsächlich in industriellen und spezialisierten Anwendungen verwendet wird, und sein Umgang erfordert Fachwissen und die Einhaltung von Sicherheitsprotokollen.
| Prüfobjekte | Einheiten | Qualitätsanforderungen | Testergebnisse |
| CF4 | ppm | < 05 | < 001 |
| O2 | ppm | < 05 | < 001 |
| N2 | ppm | < 1 | 0.03 |
| Kohlenstoff | ppm | < 05 | < 002 |
| CO2 | ppm | < 05 | < 001 |
| SiF4 | ppm | < 05 | < 01 |
| SF6 | ppm | < 05 | < 01 |
| HF | ppm | < 5 | 0.19 |
| Das ist alles. | ppb | ≤ 10 | < 0020 |
| Als | ppb | ≤ 10 | < 0001 |
| B | ppb | ≤ 10 | < 0005 |
| Ca | ppb | ≤ 5 | < 0200 |
| Cd | ppb | ≤ 2 | < 0001 |
| Die | ppb | ≤ 10 | < 0020 |
| Fe | ppb | ≤ 10 | < 0007 |
| K | ppb | ≤ 5 | < 0100 |
| In | ppb | ≤ 10 | < 0001 |
| Nein. | ppb | ≤ 5 | < 0040 |
| Die | ppb | ≤ 01 | < 0001 |
| Ti | ppb | ≤ 10 | < 0002 |
| Li | ppb | ≤ 10 | < 0002 |
| U | ppb | ≤ 005 | < 0001 |
| Zn | ppb | ≤ 10 | < 0005 |
| - Ja. | ppb | ≤ 10 | < 0100 |
| Pb | ppb | ≤ 10 | < 0001 |
| P | ppb | ≤ 2 | < 0300 |
| Mg | ppb | ≤ 10 | < 0020 |
| Ni | ppb | ≤ 20 | < 0030 |
| - Was? | ppb | ≤ 5 | < 0005 |
| - Das ist Mo. | ppb | ≤ 10 | < 0001 |
| Gesamtverunreinigungen von anderen Metallen | ppb | ≤ 500 | < 00010 |
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| MOQ: | 1 Stück |
| Preis: | US $ 15/PC |
| Standardverpackung: | Zylinder/Tank |
| Lieferfrist: | 15 TAGE |
| Zahlungs-Methode: | L/C, T/T |
| Lieferkapazität: | 200 Tonnen/Jahr |
Wolframhexafluoridgas, auch bekannt als WF6, ist eine chemische Verbindung, die aus einem Wolframatom und sechs Fluoratomen besteht.Wolframhexafluorid wird hauptsächlich in der Halbleiterindustrie zur Ablagerung von dünnen Wolframfolien bei der Herstellung von integrierten Schaltungen und anderen elektronischen Geräten verwendet.
Hier sind einige wichtige Punkte über Wolframhexafluoridgas:
Ablagerung von Wolframfilmen: Wolframhexafluorid wird in chemischen Dampfablagerungsprozessen (CVD) häufig als Vorläufergas zur Ablagerung von dünnen Wolframfilmen eingesetzt.Diese Filme dienen als leitfähige Schichten bei der Herstellung von mikroelektronischen Geräten, wie z. B. Transistoren, Verbindungen und Torelektroden.
Hohe Reinheit und Stabilität: WF6-Gas ist in der Regel in hochreinen Sorten erhältlich, um die Qualität und Integrität der abgelagerten Wolframfolien zu gewährleisten.die eine kontrollierte und gleichmäßige Filmerzeugung unter spezifischen Prozessbedingungen ermöglicht.
CVD-Verfahren: Während des CVD-Verfahrens wird Wolframhexafluoridgas zusammen mit einem Reduktionsmittel wie Wasserstoffgas in eine Ablagerungskammer eingeführt.Die WF6-Moleküle zerfallen bei erhöhten Temperaturen, die auf kontrollierte Weise Wolframatome auf die Substratoberfläche legt.
Sicherheitsaspekte: Wolframhexafluorid ist ein hochgiftiges und ätzendes Gas, das sorgfältig behandelt und gelagert werden muss.Angemessene Sicherheitsmaßnahmen, einschließlich der Verwendung spezieller Ausrüstung und Schutzausrüstung, sind bei der Arbeit mit WF6 unerlässlich.
Umweltauswirkungen: Wie andere fluorierte Verbindungen kann Wolframhexafluorid zu Umweltproblemen beitragen.Um eine Freisetzung in die Umwelt zu verhindern, sind sorgfältige Verfahren zur Behandlung und Beseitigung erforderlich..
Es ist wichtig zu beachten, dass Wolframhexafluorid-Gas hauptsächlich in industriellen und spezialisierten Anwendungen verwendet wird, und sein Umgang erfordert Fachwissen und die Einhaltung von Sicherheitsprotokollen.
| Prüfobjekte | Einheiten | Qualitätsanforderungen | Testergebnisse |
| CF4 | ppm | < 05 | < 001 |
| O2 | ppm | < 05 | < 001 |
| N2 | ppm | < 1 | 0.03 |
| Kohlenstoff | ppm | < 05 | < 002 |
| CO2 | ppm | < 05 | < 001 |
| SiF4 | ppm | < 05 | < 01 |
| SF6 | ppm | < 05 | < 01 |
| HF | ppm | < 5 | 0.19 |
| Das ist alles. | ppb | ≤ 10 | < 0020 |
| Als | ppb | ≤ 10 | < 0001 |
| B | ppb | ≤ 10 | < 0005 |
| Ca | ppb | ≤ 5 | < 0200 |
| Cd | ppb | ≤ 2 | < 0001 |
| Die | ppb | ≤ 10 | < 0020 |
| Fe | ppb | ≤ 10 | < 0007 |
| K | ppb | ≤ 5 | < 0100 |
| In | ppb | ≤ 10 | < 0001 |
| Nein. | ppb | ≤ 5 | < 0040 |
| Die | ppb | ≤ 01 | < 0001 |
| Ti | ppb | ≤ 10 | < 0002 |
| Li | ppb | ≤ 10 | < 0002 |
| U | ppb | ≤ 005 | < 0001 |
| Zn | ppb | ≤ 10 | < 0005 |
| - Ja. | ppb | ≤ 10 | < 0100 |
| Pb | ppb | ≤ 10 | < 0001 |
| P | ppb | ≤ 2 | < 0300 |
| Mg | ppb | ≤ 10 | < 0020 |
| Ni | ppb | ≤ 20 | < 0030 |
| - Was? | ppb | ≤ 5 | < 0005 |
| - Das ist Mo. | ppb | ≤ 10 | < 0001 |
| Gesamtverunreinigungen von anderen Metallen | ppb | ≤ 500 | < 00010 |
