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| MOQ: | 1 kg |
| Preis: | US $50/kg |
| Standardverpackung: | Zylinder/Tank |
| Lieferfrist: | 15 Tage |
| Zahlungs-Methode: | L/C, T/T |
| Lieferkapazität: | 5000 kg/Monat |
Stickstofftrifluorid (NF3) ist eine chemische Verbindung, die aus einem Stickstoffatom und drei Fluoratomen besteht.Hier sind einige wichtige Punkte über Stickstofftrifluorid:
1Herstellung: Stickstofftrifluorid wird hauptsächlich durch die Reaktion von Ammoniak (NH3) mit Fluorgas (F2) unter kontrollierten Bedingungen hergestellt.Die Reaktion ist exotherm und findet in der Regel in Gegenwart eines Katalysators statt..
2. Physikalische Eigenschaften: NF3 ist ein nicht brennbares Gas, das bei Raumtemperatur und -druck stabil ist. Es hat einen Siedepunkt von -129,1 °C (-204,4 °F) und einen Schmelzpunkt von -206,8 °C (-340,2 °F).Das Gas ist dichter als Luft und hat bei hohen Konzentrationen einen leicht süßen Geruch.
3Anwendungen: Stickstofftrifluorid hat verschiedene industrielle Anwendungen, darunter:
- Herstellung von HalbleiternNF3 wird in der Elektronikindustrie als Reinigungsmittel zur Entfernung von Verunreinigungen von den Oberflächen von Siliziumwafern bei der Herstellung von integrierten Schaltungen und Dünnschichttransistoren eingesetzt.
- Plasma-Ätzen: Es wird als Plasma-Ätzer bei der Herstellung von mikroelektronischen Geräten verwendet.zur Bildung flüchtiger Produkte, die leicht entfernt werden können.
- Produktion von Flachbildschirmen: NF3 wird bei der Herstellung von Flüssigkristallbildschirmen (LCDs) und Plasmabildschirmen zur Reinigung und Ätzung von Glasoberflächen eingesetzt.
- Herstellung von Solarzellen: Es wird bei der Herstellung von Dünnschicht-Solarzellen eingesetzt, wo es dazu beiträgt, Verunreinigungen und Rückstände von den Oberflächen der Zellen zu entfernen.
4. Umweltauswirkungen: Stickstofftrifluorid ist ein starkes Treibhausgas mit hohem Erderwärmungspotenzial (GWP).Es hat eine lange Lebensdauer in der Atmosphäre (rund 550 Jahre) und ein geschätztes GWP, das deutlich höher ist als das von Kohlendioxid (CO2)Die Freisetzung von NF3 in die Atmosphäre kann zum Klimawandel beitragen.
5. Sicherheitsaspekte: NF3 gilt im Allgemeinen als ungiftig, kann aber in hohen Konzentrationen eine Erstickungsgefahr darstellen und den Sauerstoff verdrängen.Richtige Handhabung, Lagerung und Lüftungsmaßnahmen bei der Arbeit mit Stickstofftrifluorid einzuhalten.
Grundlegende Informationen
| Transportpaket: | 47L, 440L | Schmelzpunkt | -206,79°C |
| Marke: | CMC | Siedepunkt | -129,0 °C |
| Spezifikation | 990,99%, 99,996% | Produktionskapazität | 5000 M3/Jahr |
| Zylinderdruck | 15MPa/20MPa | Ventile | Diss640 |
| Aussehen | Farblos, geruchlos | Dichte | 20,96 kg/m3 |
Spezifikationen:
| Spezifikationen | Firmenstandard |
| NF3 | ≥ 99,996% |
| CF4 | ≤20 ppm |
| N2 | ≤5 ppm |
| O2+AR | ≤3 ppm |
| Kohlenstoff | ≤1 ppm |
| CO2 | ≤0.5 ppm |
| N2O | ≤1 ppm |
| SF6 | ≤2 ppm |
| Feuchtigkeit | ≤1 ppm |
| Ausgedrückt als HF | ≤1 ppm |
Detailliertes Foto
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| MOQ: | 1 kg |
| Preis: | US $50/kg |
| Standardverpackung: | Zylinder/Tank |
| Lieferfrist: | 15 Tage |
| Zahlungs-Methode: | L/C, T/T |
| Lieferkapazität: | 5000 kg/Monat |
Stickstofftrifluorid (NF3) ist eine chemische Verbindung, die aus einem Stickstoffatom und drei Fluoratomen besteht.Hier sind einige wichtige Punkte über Stickstofftrifluorid:
1Herstellung: Stickstofftrifluorid wird hauptsächlich durch die Reaktion von Ammoniak (NH3) mit Fluorgas (F2) unter kontrollierten Bedingungen hergestellt.Die Reaktion ist exotherm und findet in der Regel in Gegenwart eines Katalysators statt..
2. Physikalische Eigenschaften: NF3 ist ein nicht brennbares Gas, das bei Raumtemperatur und -druck stabil ist. Es hat einen Siedepunkt von -129,1 °C (-204,4 °F) und einen Schmelzpunkt von -206,8 °C (-340,2 °F).Das Gas ist dichter als Luft und hat bei hohen Konzentrationen einen leicht süßen Geruch.
3Anwendungen: Stickstofftrifluorid hat verschiedene industrielle Anwendungen, darunter:
- Herstellung von HalbleiternNF3 wird in der Elektronikindustrie als Reinigungsmittel zur Entfernung von Verunreinigungen von den Oberflächen von Siliziumwafern bei der Herstellung von integrierten Schaltungen und Dünnschichttransistoren eingesetzt.
- Plasma-Ätzen: Es wird als Plasma-Ätzer bei der Herstellung von mikroelektronischen Geräten verwendet.zur Bildung flüchtiger Produkte, die leicht entfernt werden können.
- Produktion von Flachbildschirmen: NF3 wird bei der Herstellung von Flüssigkristallbildschirmen (LCDs) und Plasmabildschirmen zur Reinigung und Ätzung von Glasoberflächen eingesetzt.
- Herstellung von Solarzellen: Es wird bei der Herstellung von Dünnschicht-Solarzellen eingesetzt, wo es dazu beiträgt, Verunreinigungen und Rückstände von den Oberflächen der Zellen zu entfernen.
4. Umweltauswirkungen: Stickstofftrifluorid ist ein starkes Treibhausgas mit hohem Erderwärmungspotenzial (GWP).Es hat eine lange Lebensdauer in der Atmosphäre (rund 550 Jahre) und ein geschätztes GWP, das deutlich höher ist als das von Kohlendioxid (CO2)Die Freisetzung von NF3 in die Atmosphäre kann zum Klimawandel beitragen.
5. Sicherheitsaspekte: NF3 gilt im Allgemeinen als ungiftig, kann aber in hohen Konzentrationen eine Erstickungsgefahr darstellen und den Sauerstoff verdrängen.Richtige Handhabung, Lagerung und Lüftungsmaßnahmen bei der Arbeit mit Stickstofftrifluorid einzuhalten.
Grundlegende Informationen
| Transportpaket: | 47L, 440L | Schmelzpunkt | -206,79°C |
| Marke: | CMC | Siedepunkt | -129,0 °C |
| Spezifikation | 990,99%, 99,996% | Produktionskapazität | 5000 M3/Jahr |
| Zylinderdruck | 15MPa/20MPa | Ventile | Diss640 |
| Aussehen | Farblos, geruchlos | Dichte | 20,96 kg/m3 |
Spezifikationen:
| Spezifikationen | Firmenstandard |
| NF3 | ≥ 99,996% |
| CF4 | ≤20 ppm |
| N2 | ≤5 ppm |
| O2+AR | ≤3 ppm |
| Kohlenstoff | ≤1 ppm |
| CO2 | ≤0.5 ppm |
| N2O | ≤1 ppm |
| SF6 | ≤2 ppm |
| Feuchtigkeit | ≤1 ppm |
| Ausgedrückt als HF | ≤1 ppm |
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