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| MOQ: | 1 Stück |
| Preis: | US $ 15/PC |
| Standardverpackung: | Zylinder/Tank |
| Lieferfrist: | 15 Tage |
| Zahlungs-Methode: | L/C, T/T |
| Lieferkapazität: | 200 Tonnen/Jahr |
Wolframhexafluorid (WF6) ist eine chemische Verbindung, die aus einem Wolframatom und sechs Fluoratomen besteht.Wolframhexafluorid ist hochreaktiv und kann mit Wasser oder Luftfeuchtigkeit heftig reagieren, wodurch giftiges Wasserstofffluoridgas freigesetzt wird.
Die Anwendung von Wolframhexafluorid umfasst seine Verwendung als Vorläufer für die Ablagerung von Wolframfolien in Halbleiterherstellungsprozessen.Es wird üblicherweise in chemischen Dampfdepositionstechniken (CVD) verwendet, um dünne Filme aus Wolfram für verschiedene Anwendungen zu erzeugenWolframhexafluorid wird aufgrund seines hohen Dampfdrucks, der eine effiziente Ablagerung ermöglicht, in diesen Verfahren bevorzugt.
Es ist jedoch wichtig, Wolframhexafluorid wegen seiner Reaktivität und Toxizität mit Vorsicht zu behandeln und zu lagern.einschließlich der Verwendung geeigneter Schutzausrüstung und Handhabungsverfahren, sollte bei der Behandlung dieser Verbindung beachtet werden.
| Prüfobjekte | Einheiten | Qualitätsanforderungen | Testergebnisse |
| CF4 | ppm | < 05 | < 001 |
| O2 | ppm | < 05 | < 001 |
| N2 | ppm | < 1 | 0.03 |
| Kohlenstoff | ppm | < 05 | < 002 |
| CO2 | ppm | < 05 | < 001 |
| SiF4 | ppm | < 05 | < 01 |
| SF6 | ppm | < 05 | < 01 |
| HF | ppm | < 5 | 0.19 |
| Das ist alles. | ppb | ≤ 10 | < 0020 |
| Als | ppb | ≤ 10 | < 0001 |
| B | ppb | ≤ 10 | < 0005 |
| Ca | ppb | ≤ 5 | < 0200 |
| Cd | ppb | ≤ 2 | < 0001 |
| Die | ppb | ≤ 10 | < 0020 |
| Fe | ppb | ≤ 10 | < 0007 |
| K | ppb | ≤ 5 | < 0100 |
| In | ppb | ≤ 10 | < 0001 |
| Nein. | ppb | ≤ 5 | < 0040 |
| Die | ppb | ≤ 01 | < 0001 |
| Ti | ppb | ≤ 10 | < 0002 |
| Li | ppb | ≤ 10 | < 0002 |
| U | ppb | ≤ 005 | < 0001 |
| Zn | ppb | ≤ 10 | < 0005 |
| - Ja. | ppb | ≤ 10 | < 0100 |
| Pb | ppb | ≤ 10 | < 0001 |
| P | ppb | ≤ 2 | < 0300 |
| Mg | ppb | ≤ 10 | < 0020 |
| Ni | ppb | ≤ 20 | < 0030 |
| - Was? | ppb | ≤ 5 | < 0005 |
| - Das ist Mo. | ppb | ≤ 10 | < 0001 |
| Gesamtverunreinigungen von anderen Metallen | ppb | ≤ 500 | < 00010 |
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| MOQ: | 1 Stück |
| Preis: | US $ 15/PC |
| Standardverpackung: | Zylinder/Tank |
| Lieferfrist: | 15 Tage |
| Zahlungs-Methode: | L/C, T/T |
| Lieferkapazität: | 200 Tonnen/Jahr |
Wolframhexafluorid (WF6) ist eine chemische Verbindung, die aus einem Wolframatom und sechs Fluoratomen besteht.Wolframhexafluorid ist hochreaktiv und kann mit Wasser oder Luftfeuchtigkeit heftig reagieren, wodurch giftiges Wasserstofffluoridgas freigesetzt wird.
Die Anwendung von Wolframhexafluorid umfasst seine Verwendung als Vorläufer für die Ablagerung von Wolframfolien in Halbleiterherstellungsprozessen.Es wird üblicherweise in chemischen Dampfdepositionstechniken (CVD) verwendet, um dünne Filme aus Wolfram für verschiedene Anwendungen zu erzeugenWolframhexafluorid wird aufgrund seines hohen Dampfdrucks, der eine effiziente Ablagerung ermöglicht, in diesen Verfahren bevorzugt.
Es ist jedoch wichtig, Wolframhexafluorid wegen seiner Reaktivität und Toxizität mit Vorsicht zu behandeln und zu lagern.einschließlich der Verwendung geeigneter Schutzausrüstung und Handhabungsverfahren, sollte bei der Behandlung dieser Verbindung beachtet werden.
| Prüfobjekte | Einheiten | Qualitätsanforderungen | Testergebnisse |
| CF4 | ppm | < 05 | < 001 |
| O2 | ppm | < 05 | < 001 |
| N2 | ppm | < 1 | 0.03 |
| Kohlenstoff | ppm | < 05 | < 002 |
| CO2 | ppm | < 05 | < 001 |
| SiF4 | ppm | < 05 | < 01 |
| SF6 | ppm | < 05 | < 01 |
| HF | ppm | < 5 | 0.19 |
| Das ist alles. | ppb | ≤ 10 | < 0020 |
| Als | ppb | ≤ 10 | < 0001 |
| B | ppb | ≤ 10 | < 0005 |
| Ca | ppb | ≤ 5 | < 0200 |
| Cd | ppb | ≤ 2 | < 0001 |
| Die | ppb | ≤ 10 | < 0020 |
| Fe | ppb | ≤ 10 | < 0007 |
| K | ppb | ≤ 5 | < 0100 |
| In | ppb | ≤ 10 | < 0001 |
| Nein. | ppb | ≤ 5 | < 0040 |
| Die | ppb | ≤ 01 | < 0001 |
| Ti | ppb | ≤ 10 | < 0002 |
| Li | ppb | ≤ 10 | < 0002 |
| U | ppb | ≤ 005 | < 0001 |
| Zn | ppb | ≤ 10 | < 0005 |
| - Ja. | ppb | ≤ 10 | < 0100 |
| Pb | ppb | ≤ 10 | < 0001 |
| P | ppb | ≤ 2 | < 0300 |
| Mg | ppb | ≤ 10 | < 0020 |
| Ni | ppb | ≤ 20 | < 0030 |
| - Was? | ppb | ≤ 5 | < 0005 |
| - Das ist Mo. | ppb | ≤ 10 | < 0001 |
| Gesamtverunreinigungen von anderen Metallen | ppb | ≤ 500 | < 00010 |
